上料
最大可搭載12”(英吋)晶圓環(huán)子彈匣上料 (上料平臺(tái)向下兼容8”/6” 晶圓環(huán)子彈匣) ,
排片下料
可選配8”自動(dòng)晶圓環(huán)平臺(tái),或Waffle Tray 托盤用以放入多個(gè) Waffle料盒排放晶元