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PH-3 設(shè)備是利用寶創(chuàng)自主研發(fā)的擺臂系數(shù)，加上雙頭拾放完成晶元片正反面的全方位視覺檢測，保證完全合格產(chǎn)品經(jīng)篩選后排片至下料平臺(tái)。設(shè)備可搭載8”(英吋)晶圓環(huán)手動(dòng)上料 (上料平臺(tái)向下兼容6” /5” /4” 晶圓環(huán)) ，排片區(qū)則為一套230mm x 300mm真空平臺(tái)，可在上方放置8”晶圓環(huán) 或Waffle Tray托盤。排片精度進(jìn)在 ±0.03mm而產(chǎn)能可達(dá) 5000uph (視乎物料規(guī)格)。

高速擺臂運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)

寶創(chuàng)專利設(shè)計(jì)的“高速擺臂系統(tǒng)”已超越了將過同類廠家的擺臂精度和速度，在擺臂機(jī)構(gòu)的安裝結(jié)構(gòu)上不斷改良創(chuàng)新，力求有效將設(shè)備排片精度和運(yùn)送速度達(dá)至最高水平。

180° / 90°轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)

晶元經(jīng)過“轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)”時(shí)可以通過上下高速攝像機(jī)對晶元進(jìn)行輪廓高清檢查，從而確保排放至排片平臺(tái)的晶元件均為100%合格品，并且可加快晶元運(yùn)輸節(jié)拍和維持設(shè)備高產(chǎn)能，最高產(chǎn)能可達(dá)至 5000uph。

擺片方式 (一)

從 Wafer盤上的硅晶元取料擺放至貼片平臺(tái)上的法蘭盤中，并按序排列。

擺片方式 (二)

從 Wafer盤上的硅晶元取料擺放至貼片平臺(tái)上的Tray盤(料盒)中，并按序排列。